【摘要】文章针对超净光学表面污损较小、检测评价困难的问题，基于微尘对激光的散射理论，通过对低噪声光电前放设计、锁相放大电路设计等研制了超净光学表面微尘检测系统，实现了光学表面的高精度、高效率、低成本、无损检测，为光学表面损伤提供了检测和标定手段。实验表明，系统具有很好的稳定性、灵敏度和信噪比，能实现对直径5微米颗粒的精确测量。
【关键词】
《科技创新与应用》 2015-10-27
《科技创新与应用》 2015-10-27
《科技创新与应用》 2015-10-27
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010-56259535
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