【摘要】阐述等离子喷淋技术的工作原理，在离子注入工艺上的应用；分析等离子喷淋器对注入工艺中的电荷累积以及注入均匀性改善。并提出在先进制程下对等离子喷淋技术的要求。
【关键词】
《科技创新与应用》 2015-10-27
《科技创新与应用》 2015-10-27
《科技创新与应用》 2015-10-27
《科技创新与应用》 2015-10-27
《中国管理科学》 2015-10-27
《科技创新与应用》 2015-10-28
《中国管理科学》 2015-10-27
《科技创新与应用》 2015-10-28
010-56259535
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