【摘要】采用射频磁控溅射方法在石英片上生长不同厚度Ag薄膜,测试了Ag膜反射率变化随厚度的变化关系,利用AFM和SEM分别研究Ag膜厚度对其表面粗糙度和形貌的影响。
【关键词】
《科技创新与应用》 2015-10-23
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《科技创新与应用》 2015-10-23
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