【摘要】磁控溅射技术因为其自身所具有的显著优点,已经被越来越广泛的运用于各个领域,其中以工业镀膜方面的应用最为广泛,相应的其生产技术也得到了很大的改进。文章着重讲述磁控技溅射技术的原理,特点以及磁控溅射技术的发展趋势。
【关键词】
《科技创新与应用》 2015-10-19
《科技创新与应用》 2015-10-19
《临沂大学学报》 2015-10-19
《科技创新与应用》 2015-10-19
《中国卫生质量管理》 2015-10-20
《文化产业》 2015-10-20
《湘潮》 2015-10-20
《科技创新与应用》 2015-10-20
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